产品特点

• 立式安装，包括真空容器，热沉底板系统，真空抽气系统，冷却/加热系统，测量与控制系统，隔振系统、辅助系统以及独立无油真空机组；
• 真空容器材料选用不锈钢，热沉选用紫铜材料；
• 单独配备独立无油真空机组

应用领域